Model: CMX1
Part Numbers: X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX,
Compatible With: MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET, MX Active Gauge EthernetIP Gateway
Características y beneficios:
- Lower drift, superior protection from deposition of process gases/li>
- Elimination of manual potentiometers and drift associated with electronics
- Fast warm-up, close temperature control, rapid response to changes
- Multi-decade calibration provides superior window of known accuracy, real-time compensation of ambient temperature effects
- Cannot be zeroed if pressure is too high or desired temperature not reached
- Diagnostic port allows monitoring and data acquisition simultaneously with device operation for chamber and tool matching along with “real time” advanced troubleshooting
Maximize the efficiency and performance of your vacuum-dependent processes: Choose XacTorr® Series digital vacuum capacitance manometers from Brooks Instrument. XacTorr® Series devices incorporate industry-leading features that improve measurement reliability, minimize drift, resist diaphragm contamination and minimize thermal effects.
The advanced Mark-IV sensor contains surface areas not used in pressure measurement – providing locations for particles and condensable vapors to accumulate. This reduces the need to re-zero the gauge and increases sensor life without risking sensor drift. Additionally, an optional fast response sensor is available for superior closed loop control performance.
The result: ultra-accurate, repeatable and efficient vacuum measurement that ensures each time you evacuate a chamber, it reaches the precise Torr your process requires for clean, contaminant-free production.
XacTorr® Capacitance Manometer
Cables para medidores de diafragma de capacitancia (CDG)
| Product Type | Capacitance Manometer |
| Differentiator | Heated or Unheaded |
| Analog or Digital | |
| Temperatura | 45 °C |
| Pressure Range | 0.1, 10, and 1000 Torr |
| Precisión | |
| 1 to 1000 Torr | 0.15% of reading |
| < 1 Torr | 0.25% of reading |
| Rango de medición | 4 decades |
| Temperature Effect | |
| On zero | 0.002% FS / °C |
| On span | 0.02% FS / °C |
| Exposed Materials | Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel |
| Sobrepresión | 17 psia or 125% of full scale, whichever is greater |
| Size | Large |
| Analog Communications | 0 to 10 V DC, 5k Ohm load | Comunicaciones digitales | DeviceNet™ |
| RS-485 | |
| Electrical Connection | |
| Analog/RS-485 | 9 Pin or 15 Pin D-Sub Connector |
| DeviceNet™ | 5-Pin "M12" connector |
| Power Supply/Consumption | |
| Power input at initial warm-up (analog) | 270 mA @ ±15 V DC |
| Power input at steady state (analog) | 175 mA @ ±15 V DC |
| 15 pin male Sub D model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized). | |
| Certifications/Approvals | |
| EMC | Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC |
| Pin | Descripción |
| 1 | Salida analógica (tierra) |
| 2 | RS-485 A (-) |
| 3 | SP2 NC |
| 4 | SP2 NO |
| 5 | SP1 Drenaje abierto |
| 6 | Flotante |
| 7 | Flotante |
| 8 | Tensión de alimentación (0 a 10) V |
| 9 | Salida analógica (0 a 10) V |
| 10 | RS-485 B (+) |
| 11 | SP2 Com |
| 12 | Fuente SP1 |
| 13 | Flotante |
| 14 | Flotante |
| 15 | Tensión de alimentación (-) |
| *0S1<CR> | Leer medición de vacío |
| *0R1<CR> | Leer unidades de medida |
| *0R2<CR> | Leer SP1L y SP1H |
Asumir dirección 0
La lista completa de comandos está disponible en el manual de instrucciones.
El MX2A tiene dos puntos de ajuste. El punto de ajuste 1 es un colector abierto MOSFET de canal N de 60 V. Tiene una corriente nominal máxima de 1 A. Tiene una corriente nominal máxima de 1 A. La hoja de datos se puede encontrar en www.vishay.com/en/product/69958.
El punto de ajuste 2 es un relé con una tensión de conmutación máxima de 220 V CC (250 V CA) y una corriente de conmutación máxima de 2 A. La hoja de datos puede consultarse en www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3.
| MX2A PN: -110, -116, -125 | MX2A PN: Todos los demás |
| Níquel | Níquel |
| Vidrio | Vidrio |
| Oro | Oro |
| Tophet | Tophet |
| Cupron | Cupron |
| Soldadura | Acero inoxidable |
| Vivienda | Aluminio |
| Conexiones eléctricas | D-Sub de 15 patillas macho |
| Peso con sensor (típico) | 345 g (0,76 libras) |
| El peso sin el sensor | 181 g (0,40 libras) |
| Certificado según CAN/CSA C22.2 nº 61010-1-12 |
| Certificación CE según EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011 |
| Cumple la directiva RoHS |
| IP40 |
| Certificado EAC |
| Calibración acreditada ISO 17025 opcional |
| Calibración trazable NIST opcional |
Documentación del producto
| Hoja de datos de MX2A |
| Manual de instrucciones del MX2A |
| Televac®️ Tolerancias de calibración de vacío |
Modelos 3D (archivos STEP)
| 2-8910-101 - MX2A 1/8″ NPT Acero inoxidable |
| 2-8910-110 - MX2A 1/8″ NPT Latón niquelado |
| 2-8910-116 - MX2A NW16/KF16 Latón niquelado |
| 2-8910-130 - MX2A NW16/KF16 Acero inoxidable |
Notas de aplicación
Videos
| Vídeo de presentación del producto MX2A |
| Vídeo de demostración del MX2A |
| Vídeo de sustitución del sensor MX2A |
Herramientas
| Convertidor de medición de vacío Televac® |
| Terminal serie web |
Folletos
MX2A Termopar Vacío Activo
Medidor Descuentos por cantidad
| Cantidad | Descuento |
| 1 | Lista |
| 5 | 2% |
| 10 | 5% |
| 15 | 7% |
| 20 | 10% |
| 25 | 13% |
| 30+ | 15% |
D-Sub 15 Cable Descuentos por cantidad
| Cantidad | Descuento |
| 1 | Lista |
| 50 | 5% |
| 75 | 10% |
| 100+ | 15% |