Model: CMX1
Part Numbers: X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX,
Compatible With: MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET, MX Active Gauge EthernetIP Gateway
Caratteristiche e vantaggi:
- Lower drift, superior protection from deposition of process gases/li>
- Elimination of manual potentiometers and drift associated with electronics
- Fast warm-up, close temperature control, rapid response to changes
- Multi-decade calibration provides superior window of known accuracy, real-time compensation of ambient temperature effects
- Cannot be zeroed if pressure is too high or desired temperature not reached
- Diagnostic port allows monitoring and data acquisition simultaneously with device operation for chamber and tool matching along with “real time” advanced troubleshooting
Maximize the efficiency and performance of your vacuum-dependent processes: Choose XacTorr® Series digital vacuum capacitance manometers from Brooks Instrument. XacTorr® Series devices incorporate industry-leading features that improve measurement reliability, minimize drift, resist diaphragm contamination and minimize thermal effects.
The advanced Mark-IV sensor contains surface areas not used in pressure measurement – providing locations for particles and condensable vapors to accumulate. This reduces the need to re-zero the gauge and increases sensor life without risking sensor drift. Additionally, an optional fast response sensor is available for superior closed loop control performance.
The result: ultra-accurate, repeatable and efficient vacuum measurement that ensures each time you evacuate a chamber, it reaches the precise Torr your process requires for clean, contaminant-free production.
XacTorr® Capacitance Manometer
Cavi per misuratori a membrana capacitiva (CDG)
| Product Type | Capacitance Manometer |
| Differentiator | Heated or Unheaded |
| Analog or Digital | |
| Temperatura | 45 °C |
| Pressure Range | 0.1, 10, and 1000 Torr |
| Precisione | |
| 1 to 1000 Torr | 0.15% of reading |
| < 1 Torr | 0.25% of reading |
| Campo di misura | 4 decades |
| Temperature Effect | |
| On zero | 0.002% FS / °C |
| On span | 0.02% FS / °C |
| Exposed Materials | Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel |
| Sovrappressione | 17 psia or 125% of full scale, whichever is greater |
| Size | Large |
| Analog Communications | 0 to 10 V DC, 5k Ohm load | Comunicazioni digitali | DeviceNet™ |
| RS-485 | |
| Electrical Connection | |
| Analog/RS-485 | 9 Pin or 15 Pin D-Sub Connector |
| DeviceNet™ | 5-Pin "M12" connector |
| Power Supply/Consumption | |
| Power input at initial warm-up (analog) | 270 mA @ ±15 V DC |
| Power input at steady state (analog) | 175 mA @ ±15 V DC |
| 15 pin male Sub D model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized). | |
| Certifications/Approvals | |
| EMC | Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC |
| Spillo | Descrizione |
| 1 | Uscita analogica (terra) |
| 2 | RS-485 A (-) |
| 3 | SP2 NC |
| 4 | SP2 NO |
| 5 | SP1 Scarico aperto |
| 6 | Galleggiante |
| 7 | Galleggiante |
| 8 | Tensione di alimentazione (da 0 a 10) V |
| 9 | Uscita analogica (da 0 a 10) V |
| 10 | RS-485 B (+) |
| 11 | SP2 Com |
| 12 | Fonte SP1 |
| 13 | Galleggiante |
| 14 | Galleggiante |
| 15 | Tensione di alimentazione (-) |
| *0S1<CR> | Leggere la misura del vuoto |
| *0R1<CR> | Leggere le unità di misura |
| *0R2<CR> | Leggere SP1L e SP1H |
Assumere l'indirizzo 0
L'elenco completo dei comandi è disponibile nel manuale di istruzioni.
L'MX2A ha due set point. Il set point 1 è un MOSFET a canale N e 60 V a collettore aperto. Ha una corrente massima nominale di 1 A. La scheda tecnica è disponibile all'indirizzo www.vishay.com/en/product/69958.
Il set point 2 è un relè con una tensione di commutazione massima di 220 V CC (250 V CA) e una corrente di commutazione massima di 2 A. La scheda tecnica è disponibile all'indirizzo www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3.
| MX2A PN: -110, -116, -125 | MX2A PN: Tutti gli altri |
| Nichel | Nichel |
| Vetro | Vetro |
| Oro | Oro |
| Tofet | Tofet |
| Cupron | Cupron |
| Saldatura | Acciaio inox |
| Alloggiamento | Alluminio |
| Collegamenti elettrici | D-Sub a 15 pin maschio |
| Peso con sensore (tipico) | 345 g (0,76 libbre) |
| Peso senza sensore | 181 g (0,40 libbre) |
| Certificato secondo CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12 |
| Certificato CE secondo EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011 |
| Conforme alla normativa RoHS |
| IP40 |
| Certificato EAC |
| Taratura accreditata ISO 17025 opzionale |
| Calibrazione tracciabile NIST opzionale |
Documentazione del prodotto
| MX2A Scheda tecnica |
| Manuale di istruzioni MX2A |
| Televac®️ Tolleranze di calibrazione del vuoto |
Modelli 3D (file STEP)
| 2-8910-101 - MX2A 1/8″ NPT Acciaio inox |
| 2-8910-110 - MX2A 1/8″ NPT Ottone nichelato |
| 2-8910-116 - MX2A NW16/KF16 ottone nichelato |
| 2-8910-130 - MX2A NW16/KF16 Acciaio inox |
Note applicative
Video
| Video di presentazione del prodotto MX2A |
| Video dimostrativo di MX2A |
| Video sulla sostituzione del sensore MX2A |
Strumenti
| Convertitore di misura del vuoto Televac |
| Terminale seriale web |
Opuscoli
Vuoto attivo a termocoppia MX2A
Manometro Sconti per quantità
| Quantità | Sconto |
| 1 | Elenco |
| 5 | 2% |
| 10 | 5% |
| 15 | 7% |
| 20 | 10% |
| 25 | 13% |
| 30+ | 15% |
Cavo D-Sub 15 Sconti per quantità
| Quantità | Sconto |
| 1 | Elenco |
| 50 | 5% |
| 75 | 10% |
| 100+ | 15% |