Model: CMX1
Part Numbers: X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX,
Compatible With: MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET, MX Active Gauge EthernetIP Gateway
特長と効果
- Lower drift, superior protection from deposition of process gases/li>
- Elimination of manual potentiometers and drift associated with electronics
- Fast warm-up, close temperature control, rapid response to changes
- Multi-decade calibration provides superior window of known accuracy, real-time compensation of ambient temperature effects
- Cannot be zeroed if pressure is too high or desired temperature not reached
- Diagnostic port allows monitoring and data acquisition simultaneously with device operation for chamber and tool matching along with “real time” advanced troubleshooting
Maximize the efficiency and performance of your vacuum-dependent processes: Choose XacTorr® Series digital vacuum capacitance manometers from Brooks Instrument. XacTorr® Series devices incorporate industry-leading features that improve measurement reliability, minimize drift, resist diaphragm contamination and minimize thermal effects.
The advanced Mark-IV sensor contains surface areas not used in pressure measurement – providing locations for particles and condensable vapors to accumulate. This reduces the need to re-zero the gauge and increases sensor life without risking sensor drift. Additionally, an optional fast response sensor is available for superior closed loop control performance.
The result: ultra-accurate, repeatable and efficient vacuum measurement that ensures each time you evacuate a chamber, it reaches the precise Torr your process requires for clean, contaminant-free production.
XacTorr® Capacitance Manometer
Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) Cables
| Product Type | Capacitance Manometer |
| Differentiator | Heated or Unheaded |
| Analog or Digital | |
| 温度 | 45 °C |
| Pressure Range | 0.1, 10, and 1000 Torr |
| 精度 | |
| 1 to 1000 Torr | 0.15% of reading |
| < 1 Torr | 0.25% of reading |
| 測定範囲 | 4 decades |
| Temperature Effect | |
| On zero | 0.002% FS / °C |
| On span | 0.02% FS / °C |
| Exposed Materials | Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel |
| 過圧 | 17 psia or 125% of full scale, whichever is greater |
| Size | Large |
| Analog Communications | 0 to 10 V DC, 5k Ohm load | デジタル通信 | DeviceNet™ |
| ＲＳ-４８５ | |
| Electrical Connection | |
| Analog/RS-485 | 9 Pin or 15 Pin D-Sub Connector |
| DeviceNet™ | 5-Pin "M12" connector |
| Power Supply/Consumption | |
| Power input at initial warm-up (analog) | 270 mA @ ±15 V DC |
| Power input at steady state (analog) | 175 mA @ ±15 V DC |
| 15 pin male Sub D model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized). | |
| Certifications/Approvals | |
| EMC | Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC |
| ピン | 説明 |
| 1 | アナログ出力（グラウンド） |
| 2 | RS-485 A (-) |
| 3 | SP2 NC |
| 4 | SP2 NO |
| 5 | SP1 オープンドレイン |
| 6 | フローティング |
| 7 | フローティング |
| 8 | 電源電圧 (0～10) V |
| 9 | アナログ出力（0～10） V |
| 10 | RS-485 B (+) |
| 11 | SP2コム |
| 12 | SP1ソース |
| 13 | フローティング |
| 14 | フローティング |
| 15 | 電源電圧 (-) |
MX2Aには2つのセットポイントがある。セットポイント1は、Nチャンネル60V MOSFETオープンコレクタです。最大定格電流は1Aです。データシートはwww.vishay.com/en/product/69958。
セットポイント2は、最大スイッチング電圧がDC220V（AC250V）、最大スイッチング電流が2Aのリレーです。データシートはwww.te.com/catalog/pn/en/1393788-3。
| MX2A PN：-110、-116、-125 | MX2A PN：その他 |
| ニッケル | ニッケル |
| ガラス | ガラス |
| ゴールド | ゴールド |
| トペット | トペット |
| クプロン | クプロン |
| はんだ | ステンレス鋼 |
| 住宅 | アルミニウム |
| 電気的接続 | D-Sub15ピン オス |
| センサー付き重量（代表値） | 345g（0.76ポンド） |
| センサーなしの重量 | 181g（0.40ポンド） |
| CAN/CSA C22.2 No.61010-1-12に適合。 |
| EN 61010-1、EN 61236-1、EN 55011に適合。 |
| RoHS対応 |
| IP40 |
| EAC認定 |
| ISO 17025認定校正オプション |
| NISTトレーサブル校正（オプション |
製品ドキュメント
| MX2Aデータシート |
| MX2A取扱説明書 |
| Televac®️真空校正公差 |
3Dモデル（STEPファイル）
| 2-8910-101 - MX2A 1/8″NPTステンレス鋼 |
| 2-8910-110 - MX2A 1/8″NPTニッケルメッキ真鍮 |
| 2-8910-116 - MX2A NW16/KF16 ニッケルメッキ黄銅 |
| 2-8910-130 - MX2A NW16/KF16 ステンレススチール |
アプリケーションノート
動画
| MX2A製品概要ビデオ |
| MX2Aデモンストレーション・ビデオ |
| MX2Aセンサー交換ビデオ |
ツール
| Televac®真空測定コンバーター |
| ウェブ・シリアルターミナル |
パンフレット
| Televac®️真空計測製品カタログ |
| 真空炉のフルレンジソリューション |
| 真空蒸留装置用真空計 |
| 低温・工業用ガスの真空測定 |
| 凍結乾燥用の真空コントローラとゲージ |
| 医療業界向けの真空測定ソリューション |
| 実験室用オーブン用真空コントローラとゲージ |
| 真空グローブボックス用の真空コントローラとゲージ |
MX2A 熱電対アクティブ真空計
数量割引
| 数量 | 割引 |
| 1 | リスト |
| 5 | 2% |
| 10 | 5% |
| 15 | 7% |
| 20 | 10% |
| 25 | 13% |
| 30+ | 15% |
D-Sub 15ケーブル数量割引
| 数量 | 割引 |
| 1 | リスト |
| 50 | 5% |
| 75 | 10% |
| 100+ | 15% |