Model: CMX1
Part Numbers: X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX,
Compatible With: MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET, MX Active Gauge EthernetIP Gateway
Caractéristiques et avantages :
- Lower drift, superior protection from deposition of process gases/li>
- Elimination of manual potentiometers and drift associated with electronics
- Fast warm-up, close temperature control, rapid response to changes
- Multi-decade calibration provides superior window of known accuracy, real-time compensation of ambient temperature effects
- Cannot be zeroed if pressure is too high or desired temperature not reached
- Diagnostic port allows monitoring and data acquisition simultaneously with device operation for chamber and tool matching along with “real time” advanced troubleshooting
Maximize the efficiency and performance of your vacuum-dependent processes: Choose XacTorr® Series digital vacuum capacitance manometers from Brooks Instrument. XacTorr® Series devices incorporate industry-leading features that improve measurement reliability, minimize drift, resist diaphragm contamination and minimize thermal effects.
The advanced Mark-IV sensor contains surface areas not used in pressure measurement – providing locations for particles and condensable vapors to accumulate. This reduces the need to re-zero the gauge and increases sensor life without risking sensor drift. Additionally, an optional fast response sensor is available for superior closed loop control performance.
The result: ultra-accurate, repeatable and efficient vacuum measurement that ensures each time you evacuate a chamber, it reaches the precise Torr your process requires for clean, contaminant-free production.
XacTorr® Capacitance Manometer
Câbles de jauges à diaphragme capacitif (CDG)
| Product Type | Capacitance Manometer |
| Differentiator | Heated or Unheaded |
| Analog or Digital | |
| Température | 45 °C |
| Pressure Range | 0.1, 10, and 1000 Torr |
| Précision | |
| 1 to 1000 Torr | 0.15% of reading |
| < 1 Torr | 0.25% of reading |
| Gamme de mesures | 4 decades |
| Temperature Effect | |
| On zero | 0.002% FS / °C |
| On span | 0.02% FS / °C |
| Exposed Materials | Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel |
| Surpression | 17 psia or 125% of full scale, whichever is greater |
| Size | Large |
| Analog Communications | 0 to 10 V DC, 5k Ohm load | Communications numériques | DeviceNet™ |
| RS-485 | |
| Electrical Connection | |
| Analog/RS-485 | 9 Pin or 15 Pin D-Sub Connector |
| DeviceNet™ | 5-Pin "M12" connector |
| Power Supply/Consumption | |
| Power input at initial warm-up (analog) | 270 mA @ ±15 V DC |
| Power input at steady state (analog) | 175 mA @ ±15 V DC |
| 15 pin male Sub D model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized). | |
| Certifications/Approvals | |
| EMC | Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC |
| Épingle | Description |
| 1 | Sortie analogique (terre) |
| 2 | RS-485 A (-) |
| 3 | SP2 NC |
| 4 | SP2 NON |
| 5 | SP1 Drain ouvert |
| 6 | Flottant |
| 7 | Flottant |
| 8 | Tension d'alimentation (0 à 10) V |
| 9 | Sortie analogique (0 à 10) V |
| 10 | RS-485 B (+) |
| 11 | SP2 Com |
| 12 | SP1 Source |
| 13 | Flottant |
| 14 | Flottant |
| 15 | Tension d'alimentation (-) |
| *0S1<CR> | Lire la mesure du vide |
| *0R1<CR> | Lire les unités de mesure |
| *0R2<CR> | Lire SP1L et SP1H |
Supposez l'adresse 0
La liste complète des commandes est disponible dans le manuel d'instructions.
Le MX2A a deux points de consigne. Le point de consigne 1 est un collecteur ouvert MOSFET 60 V à canal N. Il a un courant nominal maximum de 1 A. La fiche technique peut être consultée à l'adresse suivante Il a une intensité maximale de 1 A. La fiche technique est disponible à l'adresse suivante : www.vishay.com/en/product/69958.
La consigne 2 est un relais avec une tension de commutation maximale de 220 V DC (250 V AC) et un courant de commutation maximal de 2 A. La fiche technique peut être consultée à l'adresse suivante : www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3.
| MX2A PN : -110, -116, -125 | MX2A PN : Tous les autres |
| Nickel | Nickel |
| Verre | Verre |
| L'or | L'or |
| Tophet | Tophet |
| Cupron | Cupron |
| Soudure | Acier inoxydable |
| Logement | Aluminium |
| Connexions électriques | D-Sub 15 broches mâle |
| Poids avec capteur (typique) | 345 g (0.76 lbs) |
| Poids sans capteur | 181 g (0.40 lbs) |
| Certifié selon CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12 |
| Certifié CE selon EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011 |
| Conforme à la directive RoHS |
| IP40 |
| Certifié EAC |
| Étalonnage accrédité ISO 17025 en option |
| Calibrage traçable par le NIST en option |
Documentation sur les produits
| Fiche technique MX2A |
| Manuel d'instruction MX2A |
| Televac®️ Tolérances d'étalonnage du vide |
Modèles 3D (fichiers STEP)
| 2-8910-101 - MX2A 1/8″ NPT Acier inoxydable |
| 2-8910-110 - MX2A 1/8″ NPT Laiton nickelé |
| 2-8910-116 - MX2A NW16/KF16 Laiton nickelé |
| 2-8910-130 - MX2A NW16/KF16 Acier inoxydable |
Notes d'application
Vidéos
| Vidéo de présentation du produit MX2A |
| Vidéo de démonstration du MX2A |
| Vidéo sur le remplacement du capteur MX2A |
Outils
| Convertisseur de mesure de vide Televac |
| Terminal série Web |
Brochures
Télécharger le fichier STEP
| Numéro de pièce | Description | Fichier STEP |
| 2-8910-101 | MX2A 1/8″ NPT Acier inoxydable | Télécharger |
| 2-8910-110 | MX2A 1/8″ NPT Laiton nickelé | Télécharger |
| 2-8910-116 | MX2A NW16/KF16 Laiton nickelé | Télécharger |
| 2-8910-130 | MX2A NW16/KF16 Acier inoxydable | Télécharger |
MX2A Thermocouple à vide actif
Jauge de vide active Remises sur les quantités
| Quantité | Remise |
| 1 | Liste |
| 5 | 2% |
| 10 | 5% |
| 15 | 7% |
| 20 | 10% |
| 25 | 13% |
| 30+ | 15% |
Câble D-Sub 15 Remises sur les quantités
| Quantité | Remise |
| 1 | Liste |
| 50 | 5% |
| 75 | 10% |
| 100+ | 15% |