XacTorr® Series Capacitance Manometer by Brooks Instrument

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Model: CMX1

Part Numbers: X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX, X-XXXX-XXX,

Compatible With: MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET, MX Active Gauge EthernetIP Gateway

특징과 이점:

  • Lower drift, superior protection from deposition of process gases/li>
  • Elimination of manual potentiometers and drift associated with electronics
  • Fast warm-up, close temperature control, rapid response to changes
  • Multi-decade calibration provides superior window of known accuracy, real-time compensation of ambient temperature effects
  • Cannot be zeroed if pressure is too high or desired temperature not reached
  • Diagnostic port allows monitoring and data acquisition simultaneously with device operation for chamber and tool matching along with “real time” advanced troubleshooting

Maximize the efficiency and performance of your vacuum-dependent processes: Choose XacTorr® Series digital vacuum capacitance manometers from Brooks Instrument. XacTorr® Series devices incorporate industry-leading features that improve measurement reliability, minimize drift, resist diaphragm contamination and minimize thermal effects.

The advanced Mark-IV sensor contains surface areas not used in pressure measurement – providing locations for particles and condensable vapors to accumulate. This reduces the need to re-zero the gauge and increases sensor life without risking sensor drift. Additionally, an optional fast response sensor is available for superior closed loop control performance.

The result: ultra-accurate, repeatable and efficient vacuum measurement that ensures each time you evacuate a chamber, it reaches the precise Torr your process requires for clean, contaminant-free production.

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XacTorr® Capacitance Manometer

제품 설명
가격
교정
수량
0.1 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
0.1 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
PN: X-XXXX-XX1
$1,300.00

10 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
10 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
PN: X-XXXX-XX2
$1,300.00

1000 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
1000 Torr, KF25/NW25 Stainless Steel Model: CMX1
PN: X-XXXX-XX3
$1,300.00

커패시턴스 다이어프램 게이지(CDG) 케이블

제품 설명
가격
수량
10' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
10' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
PN: 2-9815-010
$175.00
20' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
20' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
PN: 2-9815-020
$195.00
35' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
35' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
PN: 2-9815-035
$205.00
50' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
50' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
PN: 2-9815-050
$235.00
65' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
65' D-Sub 15핀(DB15) 케이블
PN: 2-9815-065
$270.00
50' 플라잉 리드 케이블
50' 플라잉 리드 케이블
PN: 2-9816-050
$235.00

사양

Product Type Capacitance Manometer
Differentiator Heated or Unheaded
Analog or Digital
온도 45 °C
Pressure Range 0.1, 10, and 1000 Torr
정확도  
1 to 1000 Torr 0.15% of reading
< 1 Torr 0.25% of reading
측정 범위 4 decades
Temperature Effect  
On zero 0.002% FS / °C
On span 0.02% FS / °C
Exposed Materials Inconel® and/or AISI 316L Stainless Steel
압 17 psia or 125% of full scale, whichever is greater
Size Large
Analog Communications 0 to 10 V DC, 5k Ohm load
디지털 커뮤니케이션 DeviceNet™
RS-485
Electrical Connection
Analog/RS-485 9 Pin or 15 Pin D-Sub Connector
DeviceNet™ 5-Pin "M12" connector
Power Supply/Consumption
Power input at initial warm-up (analog) 270 mA @ ±15 V DC
Power input at steady state (analog) 175 mA @ ±15 V DC
15 pin male Sub D model requires an additional 40 mA to power the internal relays (if energized).
Certifications/Approvals
EMC Fully CE Certified to EMC Directive 89/336/EEC
Televac® 열전대 액티브 진공 게이지의 아날로그 출력 동작 그래프.
핀 설명
1 아날로그 출력(접지)
2 RS-485 A(-)
3 SP2 NC
4 SP2 NO
5 SP1 오픈 드레인
6 플로팅
7 플로팅
8 공급 전압(0~10) V
9 아날로그 출력(0~10) V
10 RS-485 B(+)
11 SP2 Com
12 SP1 소스
13 플로팅
14 플로팅
15 공급 전압(-)
Televac® MX2A 열전대 액티브 진공 게이지의 전기 연결(핀아웃) 다이어그램.
*0S1<CR> 진공 측정값 읽기
*0R1<CR> 측정 단위 읽기
*0R2<CR> SP1L 및 SP1H 읽기

주소 0으로 가정

전체 명령어 목록은 사용 설명서에서 확인할 수 있습니다.

MX2A에는 두 개의 설정 포인트가 있습니다. 설정 포인트 1은 N-채널 60V MOSFET 오픈 콜렉터입니다. 최대 정격 전류는 1A이며 데이터시트는 www.vishay.com/en/product/69958 에서 확인할 수 있습니다 .

설정값 2는 최대 스위칭 전압이 220V DC(250V AC)이고 최대 스위칭 전류가 2A인 계전기입니다. 데이터시트는 www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3 에서 확인할 수 있습니다 .

M2A PN: -110, -116, -125 MX2A PN: 기타
니켈 니켈
유리 유리
골드 골드
Tophet Tophet
Cupron Cupron
솔더 스테인리스 스틸
주택 알루미늄
전기 연결 D-Sub 15핀 수
센서 포함 무게(일반) 345g(0.76파운드)
센서가 없는 무게 181g(0.40파운드)
Televac® MX2A 열전대 액티브 진공 게이지의 치수 도면.
CAN/CSA C22.2 61010-1-12 인증 획득
EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011에 따라 CE 인증 획득
RoHS 준수
IP40
EAC 인증
ISO 17025 공인 보정 옵션
NIST 추적 가능한 교정 옵션

3D 모델

STEP 파일 다운로드

부품 번호 설명 STEP 파일
2-8910-101 MX2A 1/8″ NPT 스테인리스 스틸 다운로드
2-8910-110 MX2A 1/8″ NPT 니켈 도금 황동 다운로드
2-8910-116 MX2A NW16/KF16 니켈 도금 황동 다운로드
2-8910-130 MX2A NW16/KF16 스테인리스 스틸 다운로드

MX2A 열전대 액티브 진공
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